스퍼터 깊이 프로파일 링의 MRI 모델 : 기능, 한계 및 최근 진행 상황
스퍼터 깊이 프로파일의 정량화를 위한 MRI 모델의 기본 구조 개요 및 프로파일 재구성을 위한 작업 계획, 몇 가지 예는 응용 프로그램의 잠재력과 유용성을 보여줍니다. 일부 확장. GDOES 깊이 프로필의 모양을 잘 표현하여 하위 단일 층 깊이를 표시할 수 있습니다. 해결. 원통형 거울 분석기 앞의 기울어진 샘플에 대한 확장은 재평가되어 작은 그러나 측정 가능한 효과. 깊이 프로파일 링을 위해 한 구성 요소의 우선적인 스퍼터링 포함이 입증되었습니다. 질소 이온을 가진 Ni / Cr 멀티 플레이어, 그리고 마지막으로 탄성 전자 후방 산란에 의한 수정의 결과 C / T에 대해 AES 깊이 프로파일 링에 표시됩니다. 이중층. 스퍼터 깊이의 경우 정량적 표면 분석 프로파일 링은 스퍼터링의 경우로 확장되어야 합니..
카테고리 없음
2021. 1. 10. 23:12